Procédé de gravure utilisant une structure de masquage multicouche

T. David; T. Chevolleau; G. Cunge; O. Joubert

Brevet Année : 2008

Procédé de gravure utilisant une structure de masquage multicouche

(1) , (2) , (2) , (2)

1
2

T. David

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

T. Chevolleau

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

G. Cunge

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

O. Joubert

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00944884

Soumis le : mardi 11 février 2014-13:42:20

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:46

Dates et versions

hal-00944884 , version 1 (11-02-2014)

Identifiants

HAL Id : hal-00944884 , version 1

Citer

T. David, T. Chevolleau, G. Cunge, O. Joubert. Procédé de gravure utilisant une structure de masquage multicouche. Patent n° : 08 05022. 2008. ⟨hal-00944884⟩

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