A new characterization technique for SOI wafers: Split C(V) in pseudo-MOSFET configuration

A. Diab (1) , C. Fernandez , A. Ohata (1) , N. Rodriguez (1) , I. Ionica (1) , Y. Bae (1) , W. van den Daele (1) , F. Allibert , F. Gamiz (1) , G. Ghibaudo (1) , C. Mazure , S. Cristoloveanu (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

A. Diab, C. Fernandez, A. Ohata, N. Rodriguez, I. Ionica, et al.. A new characterization technique for SOI wafers: Split C(V) in pseudo-MOSFET configuration. Solid-State Electronics, 2013, 90, pp.127-133. ⟨10.1016/j.sse.2013.02.041⟩. ⟨hal-01001928⟩