Sidewall mobility and series resistance in a multichannel tri-gate MOSFET

S.J. Park (1) , D.Y. Jeon (1) , L. Montes (1) , S. Barraud (2) , G.T. Kim , G. Ghibaudo (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 LGCIE - Laboratoire de Génie Civil et d'Ingénierie Environnementale

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

S.J. Park, D.Y. Jeon, L. Montes, S. Barraud, G.T. Kim, et al.. Sidewall mobility and series resistance in a multichannel tri-gate MOSFET. Semiconductor Science and Technology, 2013, 28 (6), pp.065009. ⟨10.1088/0268-1242/28/6/065009⟩. ⟨hal-01020881⟩