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tel-00200095v1  Theses
Florence Brossard. Epitaxies Si/SiGe(C) pour transistors bipolaires avancés
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2007. Français
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hal-02193856v1  Journal articles
Alexandre BoulleD. ChaussendeL. Latu-RomainF. ConchonO. Masson et al.  X-ray diffuse scattering from stacking faults in thick 3C-SiC single crystals
Applied Physics Letters, American Institute of Physics, 2006, 89 (9), pp.091902. ⟨10.1063/1.2338787⟩
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hal-00917094v1  Journal articles
Raphael ClercGérard Ghibaudo. ANALYTICAL MODELS AND ELECTRICAL CHARACTERISATION OF ADVANCED MOSFETS IN THE QUASI BALLISTIC REGIME
International Journal of High Speed Electronics and Systems, World Scientific Publishing, 2013, 22 (1), pp.1350002. ⟨10.1142/S012915641350002X⟩
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tel-00147894v1  Theses
Anne-Laure Charley. Conception, montage et caractérisation d'un interféromètre achromatique pour l'étude de la lithographie à immersion à 193nm
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 2006. Français
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hal-00020640v1  Journal articles
Patrick SchiavoneRenaud Payerne. Rigorous Simulation of Line-Defects in Extreme UV Masks
Japanese Journal of Applied Physics, Japan Society of Applied Physics, 2005, Vol. 44 (9A), pp.6810-6816. ⟨10.1143/JJAP.44.6810⟩
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hal-00462229v1  Conference papers
Mame Kouna TopDavid FuardVincent FarysYorick TrouillerPatrick Schiavone. OPC model error study through mask and SEM measurement error
Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXIV, Feb 2010, San Jose (CA), United States. in press
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hal-01067367v1  Journal articles
M. GuennouP. BouvierJ. KreiselD. Machon. Pressure-temperature phase diagram of SrTiO3 up to 53 GPa
Physical Review B: Condensed Matter and Materials Physics (1998-2015), American Physical Society, 2010, 81 (5), pp.054115. ⟨10.1103/PhysRevB.81.054115⟩
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hal-01067514v1  Journal articles
Paul KauffmannAmmara IthDaniel O'BrienVictor GaudeFlorian Boué et al.  Diamagnetically trapped arrays of living cells above micromagnets
Lab on a Chip, Royal Society of Chemistry, 2011, 11 (18), pp.3153-3161. ⟨10.1039/c1lc20232d⟩
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tel-00340093v1  Theses
Sébastien Soulan. Développement de la scatterométrie dynamique pour le suivi en temps réel de procédés. Application à la microélectronique.
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2008. Français
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tel-00128711v1  Theses
Frederic Lazzarino. Etude et caractérisation des films minces lors du procédé de lithographie par nanoimpression
Physique [physics]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2005. Français
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tel-00009005v1  Theses
Martin Kogelschatz. Etude des interactions plasma–surface pendant la gravure du silicium dans des plasmas HBr/Cl2/O2
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2004. Français
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tel-00690418v1  Theses
Ana Maria Armeanu. Simulation électromagnétique utilisant une méthode modale de décomposition en ondelettes
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Grenoble, 2011. Français
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tel-00292092v1  Theses
Philippe Velha. Ingénierie de mode en optique intégrée sur silicium sur isolant
Physique Atomique [physics.atom-ph]. Université Paris Sud - Paris XI, 2008. Français
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tel-00495316v1  Theses
Florian Dhalluin. Nanofils de Silicium : Dépôt chimique en phase vapeur assisté par catalyseurs métalliques et prémices d'intégration.
Matière Condensée [cond-mat]. Université Joseph-Fourier - Grenoble I, 2009. Français
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tel-00006610v1  Theses
David Fuard. Etude et caractérisation avancées des procédés plasma pour les technologies sub - 0.1 µm
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université d'Orléans, 2003. Français