Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force

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Conference papers
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Contributor : Olivier Schneegans <>
Submitted on : Wednesday, September 10, 2008 - 2:55:50 PM
Last modification on : Thursday, November 22, 2018 - 2:35:19 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00320231, version 1

Citation

Frédéric Houzé, D. Mariolle, F. Bertin, Pascal Chrétien, Olivier Schneegans. Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force. 8ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2005, France. ⟨hal-00320231⟩

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