Study of powders formed at low power in a silane-argon discharge and their effect on the properties of hydrogenated amorphous silicon thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2005

Study of powders formed at low power in a silane-argon discharge and their effect on the properties of hydrogenated amorphous silicon thin films

P. Chaudhuri
  • Fonction : Auteur
Namita Dutta Gupta
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de génie électrique de Paris
A. Bhaduri
  • Fonction : Auteur
Christophe Longeaud
Laboratoire de génie électrique de Paris
S. Vignoli
O. Marty
  • Fonction : Auteur

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https://centralesupelec.hal.science/hal-00321244

Soumis le : vendredi 12 septembre 2008-16:15:12

Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-11:53:50

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Dates et versions

hal-00321244 , version 1 (12-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00321244 , version 1

Citer

P. Chaudhuri, Namita Dutta Gupta, A. Bhaduri, Christophe Longeaud, S. Vignoli, et al.. Study of powders formed at low power in a silane-argon discharge and their effect on the properties of hydrogenated amorphous silicon thin films. Journal of Applied Physics, 2005, 98, pp.44913. ⟨hal-00321244⟩

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