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Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Study of a-C:H films deposited from methane-argon mixture on the grounded and rf powered electrodes of a rf-PECVD Unit

Namita Dutta Gupta
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de génie électrique de Paris
Christophe Longeaud
Laboratoire de génie électrique de Paris
A. Bhaduri
  • Fonction : Auteur
P. Chaudhuri
  • Fonction : Auteur

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https://centralesupelec.hal.science/hal-00321566

Soumis le : lundi 15 septembre 2008-12:24:09

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00321566 , version 1 (15-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00321566 , version 1

Citer

Namita Dutta Gupta, Christophe Longeaud, A. Bhaduri, P. Chaudhuri. Study of a-C:H films deposited from methane-argon mixture on the grounded and rf powered electrodes of a rf-PECVD Unit. 13th International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices, 2005, India. ⟨hal-00321566⟩

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