 |
ECOLE SUPÉRIEURE D'ÉLECTRICITÉ Une grande école d'ingénieurs au cœur des sciences de l'information,de l'énergie et des systèmes |
 |
Conference papers
Device quality a-Si:H deposited from electron cyclotron resonance at very high deposition rates
Marie-Estelle Gueunier-Farret
1
Cyril Bazin
1
Jean-Paul Kleider
1
Christophe Longeaud
1
P. Bulkin
D. Daineka
T.H. Dao
Pere Roca I Cabarrocas
P. Descamps
T. Kervyn de Meerenedre
P. Loempoel
M. Meaudre
R. Meaudre
Marie-Estelle Gueunier-Farret 1
Author IdHAL : marie-gueunier-farret ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1615-498X
Cyril Bazin 1
Author
Jean-Paul Kleider 1
Author IdHAL : jean-paul-kleider ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4388-6326
Christophe Longeaud 1
Author IdHAL : christophe-longeaud
R. Meaudre
Author
1
LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris (11 rue Joliot Curie Plateau de Moulon 91192 GIF SUR YVETTE CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE) (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-00321694
Contributor : Olivier Schneegans <>
Submitted on : Monday, September 15, 2008 - 4:39:34 PM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:47:40 AM
Contributor : Olivier Schneegans <>
Submitted on : Monday, September 15, 2008 - 4:39:34 PM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:47:40 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00321694, version 1
Citation
Marie-Estelle Gueunier-Farret, Cyril Bazin, Jean-Paul Kleider, Christophe Longeaud, P. Bulkin, et al.. Device quality a-Si:H deposited from electron cyclotron resonance at very high deposition rates. 21st International Conference on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors, 2005, Portugal. ⟨hal-00321694⟩
Metrics
Record views