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Journal articles
Electrical properties of V2O5 thin films obtained by Atomic Layer Deposition (ALD)
Jean-Claude Badot 1
Author
A. Mantoux 2
Author
Noël Baffier 3
Author
Olivier Dubrunfaut 1
Author IdHAL : olivier-dubrunfaut
Daniel Lincot 4
Author
1
LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris (11 rue Joliot Curie Plateau de Moulon 91192 GIF SUR YVETTE CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- SUPELEC (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
2
LI2C - Liquides Ioniques et Interfaces Chargées (Bât. F-74 - Boîte 51 4 Place Jussieu 75252 PARIS CEDEX 05 - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- ESPCI Paris - Ecole Superieure de Physique et de Chimie Industrielles de la Ville de Paris (10 rue Vauquelin, 75231 Paris cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7612 (France)
3
LCAES - Laboratoire de Chimie Appliquée de l'État Solide (11, rue Pierre et Marie Curie 75231 - Paris Cedex 05 - France)
- ENSCP - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (11, rue Pierre et Marie Curie
75231 Paris Cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7574 (France)
4
LECA - Laboratoire d'Electrochimie et de Chimie Analytique (France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- ENSCP - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (11, rue Pierre et Marie Curie
75231 Paris Cedex 05 - France)
- PSL - Université Paris sciences et lettres (60 rue Mazarine 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7575 (France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadatas
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-00352361
Contributor : Thierry Leblanc <>
Submitted on : Monday, January 12, 2009 - 6:21:51 PM
Last modification on : Saturday, September 26, 2020 - 11:44:03 PM
Contributor : Thierry Leblanc <>
Submitted on : Monday, January 12, 2009 - 6:21:51 PM
Last modification on : Saturday, September 26, 2020 - 11:44:03 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00352361, version 1
Collections
Citation
Jean-Claude Badot, A. Mantoux, Noël Baffier, Olivier Dubrunfaut, Daniel Lincot. Electrical properties of V2O5 thin films obtained by Atomic Layer Deposition (ALD). Journal of Materials Chemistry, Royal Society of Chemistry, 2004, 14, pp.3411-3415. ⟨hal-00352361⟩
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