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ECOLE SUPÉRIEURE D'ÉLECTRICITÉ Une grande école d'ingénieurs au cœur des sciences de l'information,de l'énergie et des systèmes |
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Conference papers
AlOx/GaAs high contrast grating mirrors for mid infrared VCSELs
Youness Laaroussi
1
Olivier Gauthier-Lafaye
1
Laurent Bouscayrol
2
Chantal Fontaine
1
Laurent Cerutti
3, 4
Thierry Taliercio
3, 4
Christyves Chevallier
5
Frédéric Genty
5
Nicolas Fressengeas
6
Guilhem Almuneau
1
2
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
4
NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
Youness Laaroussi 1
Mail :
Author
Olivier Gauthier-Lafaye 1
Mail :
Author IdHAL : olivier-gauthier-lafaye ORCID : https://orcid.org/0000-0003-2705-8811
Laurent Bouscayrol 2
Author
Chantal Fontaine 1
Mail :
Author Employer institution : Équipe Photonique IdHAL : chantal-fontaine
Laurent Cerutti 3, 4
Mail :
Author IdHAL : laurent-cerutti ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/C-4397-2018 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1758-7130
Thierry Taliercio 3, 4
Mail :
Author IdHAL : thierry-taliercio ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6425-9981
Christyves Chevallier 5
Mail :
Author IdHAL : christyves
Frédéric Genty 5
Mail :
Author IdHAL : frederic-genty
Nicolas Fressengeas 6
Mail :
Author IdHAL : fresseng ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/B-9982-2012 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5534-712X
Guilhem Almuneau 1
Mail :
Author Employer institution : Équipe Photonique IdHAL : almuneau
1
LAAS-PHOTO - Équipe Photonique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
2
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
3
IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
4
NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge (France)
- IES - Institut d’Electronique et des Systèmes (860, rue Saint Priest, Bâtiment 5 - CC 05001 -34095 Montpellier Cedex 5 - France)
- UM - Université de Montpellier (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5214 (France)
6
LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes (Université de Lorraine - CentraleSupélec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine : EA4423 (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
Abstract : High contrast gratings (HCG) have drained recently highly attractive perspectives for VCSEL devices through the wide potentialities for obtaining unique optical properties with these integrable optical elements, in contrast to conventional Bragg reflectors. Since most of the HCG approaches on III-V based photonic devices are based on semiconductor/air-gap structures, strong limitations are foreseen for the integration in practical lasers. We proposed to exploit the high refractive index contrast available in the AlOx/GaAs system for which the oxide is formed with the mature thermal wet oxidation technique. High reflective and polarization selective mirrors can thus been achieved monolithically by means of a VCSEL compatible process technology, in a wide spectral range from near to mid infrared. Jointly, the AlOx lateral confinement scheme is proposed for implementation in mid infrared emitters. We present in this paper the fabrication and performances of AlOx/GaAs HCG operating between 2.3 and 2.6 μm and their integration within oxide-confined mid-infrared electrically pumped VCSELs.
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-00772551
Contributor : Christyves Chevallier <>
Submitted on : Thursday, January 10, 2013 - 4:57:05 PM
Last modification on : Wednesday, April 8, 2020 - 3:55:29 PM
Contributor : Christyves Chevallier <>
Submitted on : Thursday, January 10, 2013 - 4:57:05 PM
Last modification on : Wednesday, April 8, 2020 - 3:55:29 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00772551, version 1
- DOI : 10.1109/ICTON.2012.6254396
Collections
CNRS | SUP_OPTEL | SUP_LMOPS | SUPELEC | CENTRALESUPELEC | LMOPS-AXE1 | UNIV-LORRAINE | INSA-TOULOUSE | LMOPS-MATERIAUX | UNIV-PARIS-SACLAY | UNIV-MONTPELLIER | MIPS | IES | LAAS-PHOTO | LAAS-TEAM | LAAS | LAAS-HYPERFREQUENCES-ET-OPTIQUE | INSA-GROUPE | UNIV-TLSE3 | UT1-CAPITOLE | UNIV-TLSE2
Citation
Youness Laaroussi, Olivier Gauthier-Lafaye, Laurent Bouscayrol, Chantal Fontaine, Laurent Cerutti, et al.. AlOx/GaAs high contrast grating mirrors for mid infrared VCSELs. ICTON 2012, Jul 2012, Coventry, United Kingdom. pp.1-3, ⟨10.1109/ICTON.2012.6254396⟩. ⟨hal-00772551⟩
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