Couche tampon d'oxyde de silicium pour des cellules à heterojonction de silicium

Renaud Varache 1 H. Angermann Lars Korte Marie-Estelle Gueunier-Farret 1 Jean-Paul Kleider 1
1 SCM - Equipe Semiconducteurs en Couches Minces
LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris
Document type :
Conference papers
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https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-00779021
Contributor : Olivier Schneegans <>
Submitted on : Monday, January 21, 2013 - 3:57:54 PM
Last modification on : Tuesday, October 8, 2019 - 3:20:10 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00779021, version 1

Collections

SUPELEC | UPMC | SUP_LGEP | SUP_SCM | SORBONNE-UNIVERSITE

Citation

Renaud Varache, H. Angermann, Lars Korte, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Jean-Paul Kleider. Couche tampon d'oxyde de silicium pour des cellules à heterojonction de silicium. JNPV 2012, Dec 2012, Chantilly, France. ⟨hal-00779021⟩

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