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ECOLE SUPÉRIEURE D'ÉLECTRICITÉ Une grande école d'ingénieurs au cœur des sciences de l'information,de l'énergie et des systèmes |
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Conference papers
Structural and electrical characterization of microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD
Sofia Gaiaschi
1
R. Ruggeri
E.V. Johnson
Pavel Bulkin
Marie-Estelle Gueunier-Farret
1
Christophe Longeaud
1
G. Mannino
Jean-Paul Kleider
1
P. Chapon
Sofia Gaiaschi 1
Author
R. Ruggeri
Author
E.V. Johnson
Author IdHAL : erikvjohnson ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0920-2111
Pavel Bulkin
Author IdHAL : pavel-bulkin ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/W-6710-2019 ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5591-3470
Marie-Estelle Gueunier-Farret 1
Author IdHAL : marie-gueunier-farret ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1615-498X
Christophe Longeaud 1
Author IdHAL : christophe-longeaud
G. Mannino
Author
Jean-Paul Kleider 1
Author IdHAL : jean-paul-kleider ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4388-6326
P. Chapon
Author
1
SCM - Equipe Semiconducteurs en Couches Minces (France)
- LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris (11 rue Joliot Curie Plateau de Moulon 91192 GIF SUR YVETTE CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- Ecole Supérieure d'Electricité - SUPELEC (FRANCE) (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8507 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-00931313
Contributor : Thierry Leblanc Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 15, 2014 - 11:29:52 AM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:49:18 AM
Contributor : Thierry Leblanc Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 15, 2014 - 11:29:52 AM
Last modification on : Thursday, June 17, 2021 - 3:49:18 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00931313, version 1
Collections
CNRS | SUPELEC | UPMC | SUP_LGEP | PHEMADIC | GEEPS | SORBONNE-UNIVERSITE | SUP_SCM | SU-SCIENCES | EC-PARIS
Citation
Sofia Gaiaschi, R. Ruggeri, E.V. Johnson, Pavel Bulkin, Marie-Estelle Gueunier-Farret, et al.. Structural and electrical characterization of microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD. E-MRS Spring Meeting 2013, May 2013, Strasbourg, France. ⟨hal-00931313⟩
Metrics
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