Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors

Alexis Brenes 1, 2 Jérôme Juillard 1 Filipe Vinci dos Santos 2
2 Chaire Conception Analogique Avancée Thales/Supélec
E3S - Supélec Sciences des Systèmes [Gif-sur-Yvette], Thales Communications [Colombes]
Abstract : The aim of this paper is to introduce an explanation for the amplitude saturation and inhibition phenomena in resonant MEMS pressure sensors, via the electrostatic coupling of two resonance modes. Our analysis and experimental results reveal that these phenomena may be ubiquitous in electrostatic resonant MEMS sensors.
Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP 2014, Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MoEMS, 2014
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [5 références]  Voir  Masquer  Télécharger

https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-01086397
Contributeur : Alexis Brenes <>
Soumis le : mardi 6 janvier 2015 - 10:31:20
Dernière modification le : mardi 16 janvier 2018 - 11:12:03
Document(s) archivé(s) le : vendredi 11 septembre 2015 - 23:55:39

Fichier

Abstract DTIP 2014 vhal.pdf
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01086397, version 1

Collections

Citation

Alexis Brenes, Jérôme Juillard, Filipe Vinci dos Santos. Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors. DTIP 2014, Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MoEMS, 2014. 〈hal-01086397〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

176

Téléchargements de fichiers

183