Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches

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GreenBAN 2014, Nov 2014, Paris, France. Proceedings of the International Workshop on Green Solutions for Body Area Networks, pp.63 - 66
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Contributeur : Thierry Leblanc <>
Soumis le : jeudi 1 janvier 2015 - 19:23:14
Dernière modification le : lundi 9 avril 2018 - 12:22:24

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  • HAL Id : hal-01099238, version 1

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Citation

Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches. GreenBAN 2014, Nov 2014, Paris, France. Proceedings of the International Workshop on Green Solutions for Body Area Networks, pp.63 - 66. 〈hal-01099238〉

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