Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches

Alexis Peschot (1, 2) , Maxime Vincent (3) , Christophe Poulain (1, 3) , Denis Mariolle (1) , Frédéric Houzé (4) , Jérôme Delamare (2)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 G2ELab - Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
3 LCFM - Laboratoire Caratérisation et Fiabilité des Microsystèmes
4 LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris

Domaines: Physique [physics]

Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches. GreenBAN 2014, Nov 2014, Paris, France. Proceedings of the International Workshop on Green Solutions for Body Area Networks, pp.63 - 66. ⟨hal-01099238⟩