Low temperature hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD for photovoltaic application

Sofia Gaiaschi 1 E.V. Johnson Marie-Estelle Gueunier-Farret 1 Christophe Longeaud 1 P. Chapon Jean-Paul Kleider 1
1 LGEP - Laboratoire de génie électrique de Paris
Type de document :
Communication dans un congrès
E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014
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Contributeur : Thierry Leblanc <>
Soumis le : dimanche 4 janvier 2015 - 18:30:27
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Sofia Gaiaschi, E.V. Johnson, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Christophe Longeaud, P. Chapon, et al.. Low temperature hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD for photovoltaic application. E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014. 〈hal-01099573〉

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