Low temperature hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD for photovoltaic application

Type de document :
Communication dans un congrès
E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014
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Contributeur : Thierry Leblanc <>
Soumis le : dimanche 4 janvier 2015 - 18:30:27
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:19:11

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  • HAL Id : hal-01099573, version 1

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Citation

Sofia Gaiaschi, E.V. Johnson, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Christophe Longeaud, P. Chapon, et al.. Low temperature hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD for photovoltaic application. E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014. 〈hal-01099573〉

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