Structural and electrical properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited at low substrate temperature by RF-PECVD

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Communication dans un congrès
E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014, 2014
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Contributeur : Thierry Leblanc <>
Soumis le : dimanche 4 janvier 2015 - 19:11:29
Dernière modification le : mercredi 28 novembre 2018 - 01:23:58

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Citation

Sofia Gaiaschi, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Christophe Longeaud, E.V. Johnson, P. Chapon, et al.. Structural and electrical properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited at low substrate temperature by RF-PECVD. E-MRS Spring Meeting 2014, May 2014, Lille, France. Proceedings of the E-MRS Spring Meeting 2014, 2014. 〈hal-01099579〉

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