Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors

Alexis Brenes 1, 2 Jerome Juillard 1 Filipe Vinci dos Santos 2
2 Chaire Conception Analogique Avancée Thales/Supélec
E3S - Supélec Sciences des Systèmes [Gif-sur-Yvette], Thales Communications [Colombes]
Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP 2014, Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, pp.294-297, 2014
Liste complète des métadonnées

https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-01108110
Contributeur : Alexandra Siebert <>
Soumis le : jeudi 22 janvier 2015 - 11:08:35
Dernière modification le : mardi 16 janvier 2018 - 11:12:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01108110, version 1

Citation

Alexis Brenes, Jerome Juillard, Filipe Vinci dos Santos. Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors. DTIP 2014, Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, pp.294-297, 2014. 〈hal-01108110〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

87