Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors

Alexis Brenes 1, 2 Jérôme Juillard 1 Filipe Vinci dos Santos 2
1 E3S - Supélec Sciences des Systèmes [Gif-sur-Yvette]
2 Chaire Conception Analogique Avancée Thales/Supélec
Thales Communications [Colombes], E3S - Supélec Sciences des Systèmes [Gif-sur-Yvette]
Abstract : The aim of this paper is to introduce an explanation for the amplitude saturation and inhibition phenomena in resonant MEMS pressure sensors, via the electrostatic coupling of two resonance modes. Our analysis and experimental results reveal that these phenomena may be ubiquitous in electrostatic resonant MEMS sensors.
Keywords : electrostatic nonlinearity Autoparametric resonance MEMS
Type de document :
Communication dans un congrès
2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) , Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MoEMS, 2014, 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) 〈10.1109/DTIP.2014.7056659〉
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Contributeur : Alexis Brenes <>
Soumis le : mardi 6 janvier 2015 - 10:31:20
Dernière modification le : vendredi 1 juin 2018 - 13:45:03
Document(s) archivé(s) le : vendredi 11 septembre 2015 - 23:55:39

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Alexis Brenes, Jérôme Juillard, Filipe Vinci dos Santos. Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors. 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) , Apr 2014, Cannes, France. Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS and MoEMS, 2014, 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) 〈10.1109/DTIP.2014.7056659〉. 〈hal-01086397〉

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