Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties

Alban Maertens; Samuel Margueron; Frédéric Genty; Ouarda Legrani; Thierry Belmonte; Pascal Boulet

Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties

Alban Maertens ¹ Samuel Margueron ¹ Frédéric Genty ¹ Ouarda Legrani ¹ Thierry Belmonte ² Pascal Boulet ³

1 LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes

2 IJL - Institut Jean Lamour

3 LEMTA - Laboratoire d'Energétique et de Mécanique Théorique Appliquée

Type de document :

Communication dans un congrès

Compound Semiconductor Week, May 2014, Montpellier, France. Proceedings of the Compound Semiconductor Week, 2014

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics] / Optique / photonique

Liste complète des métadonnées

https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-01109404
Contributeur : Sébastien Van Luchene <>
Soumis le : lundi 26 janvier 2015 - 11:50:54
Dernière modification le : mardi 21 août 2018 - 09:46:02

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