Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties

Alban Maertens 1 Samuel Margueron 1 Frédéric Genty 1 Ouarda Legrani 1 Thierry Belmonte 2 Pascal Boulet 3
1 LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes
2 IJL - Institut Jean Lamour
3 LEMTA - Laboratoire d'Energétique et de Mécanique Théorique Appliquée
Type de document :
Communication dans un congrès
Compound Semiconductor Week, May 2014, Montpellier, France. Proceedings of the Compound Semiconductor Week, 2014
Liste complète des métadonnées
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-01109404
Contributeur : Sébastien Van Luchene <>
Soumis le : lundi 26 janvier 2015 - 11:50:54
Dernière modification le : jeudi 26 avril 2018 - 21:10:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-01109404, version 1

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Citation

Alban Maertens, Samuel Margueron, Frédéric Genty, Ouarda Legrani, Thierry Belmonte, et al.. Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties. Compound Semiconductor Week, May 2014, Montpellier, France. Proceedings of the Compound Semiconductor Week, 2014. 〈hal-01109404〉

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