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Conference papers
Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties
Alban Maertens
1
Samuel Margueron
1
Frédéric Genty
1
Ouarda Legrani
1
Thierry Belmonte
2
Pascal Boulet
2
Alban Maertens 1
Author IdHAL : alban-maertens
Samuel Margueron 1
Author
Frédéric Genty 1
Author IdHAL : frederic-genty
Ouarda Legrani 1
Author
Thierry Belmonte 2
Author IdHAL : thierry-belmonte ORCID : https://orcid.org/0000-0002-8572-7676
Pascal Boulet 2
Author Employer institution : Université de Lorraine IdHAL : pascal-boulet ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/D-6494-2011 ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0684-4397
1
LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes (Université de Lorraine - CentraleSupélec, 2 rue Edouard Belin, 57070 Metz - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine : EA4423 (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
2
IJL - Institut Jean Lamour (Institut Jean Lamour - CNRS - Université de Lorraine. Campus Artem 2 allée André Guinier BP 50840 54011 Nancy Cedex - France)
- UL - Université de Lorraine (34 cours Léopold - CS 25233 - 54052 Nancy cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7198 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-supelec.archives-ouvertes.fr/hal-01109404
Contributor : Sébastien van Luchene <>
Submitted on : Monday, January 26, 2015 - 11:50:54 AM
Last modification on : Tuesday, June 15, 2021 - 4:17:22 PM
Contributor : Sébastien van Luchene <>
Submitted on : Monday, January 26, 2015 - 11:50:54 AM
Last modification on : Tuesday, June 15, 2021 - 4:17:22 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01109404, version 1
Collections
SUPELEC | CNRS | UNIV-LORRAINE | INC-CNRS | LMOPS-AXE1 | IJL-UL | LMOPS-MATERIAUX | SUP_LMOPS | SUP_OPTEL | EC-PARIS
Citation
Alban Maertens, Samuel Margueron, Frédéric Genty, Ouarda Legrani, Thierry Belmonte, et al.. Influence of RF Plasma on Zinc Oxide Surface Properties. Compound Semiconductor Week, May 2014, Montpellier, France. ⟨hal-01109404⟩
Metrics
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