Influence of the molecular weight and imprint conditions on the formation of capillary bridges in nanoimprint lithography

N. Chaix; C. Gourgon; S. Landis; C. Perret; M. Fink; F. Reuther; D. Mecerreyes

Article Dans Une Revue Nanotechnology Année : 2006

Influence of the molecular weight and imprint conditions on the formation of capillary bridges in nanoimprint lithography

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N. Chaix

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

C. Gourgon

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

S. Landis

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

C. Perret

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

M. Fink

Fonction : Auteur

F. Reuther

Fonction : Auteur

D. Mecerreyes

Fonction : Auteur

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00385747

Soumis le : mercredi 20 mai 2009-09:22:37

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Dates et versions

hal-00385747 , version 1 (20-05-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00385747 , version 1

Citer

N. Chaix, C. Gourgon, S. Landis, C. Perret, M. Fink, et al.. Influence of the molecular weight and imprint conditions on the formation of capillary bridges in nanoimprint lithography. Nanotechnology, 2006, 17, pp.4082-4087. ⟨hal-00385747⟩

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