Nanoimprint lithography on 200 mm full printed wafer

R. Pelzer; T. Glinsner; F. Lindner; O. Bobenstetter; C. Gourgon; C. Perret; S. Landis

Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Nanoimprint lithography on 200 mm full printed wafer

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R. Pelzer

Fonction : Auteur

T. Glinsner

Fonction : Auteur

F. Lindner

Fonction : Auteur

O. Bobenstetter

Fonction : Auteur

C. Gourgon

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

C. Perret

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

S. Landis

Fonction : Auteur

Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00385816

Soumis le : mercredi 20 mai 2009-11:08:31

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Dates et versions

hal-00385816 , version 1 (20-05-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00385816 , version 1

Citer

R. Pelzer, T. Glinsner, F. Lindner, O. Bobenstetter, C. Gourgon, et al.. Nanoimprint lithography on 200 mm full printed wafer. MINATEC 2003, 2003, grenoble, France. ⟨hal-00385816⟩

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