HfO2-based solid solutions for high-k/metal gate stack properties improvement
C. Dubourdieu
(1, 2)
,
V. Brizé
,
J. Ubrig
,
S. Margueron
,
I. Matko
(2)
,
E. Rauwel
(1, 2)
,
F. Ducroquet
(2)
,
N. Rochat
(2)
,
A. Klein
,
B. Höllander
(2)
V. Brizé
- Fonction : Auteur
J. Ubrig
- Fonction : Auteur
S. Margueron
- Fonction : Auteur
F. Ducroquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171005
- IdHAL : frederique-ducroquet
- ORCID : 0000-0001-8770-9650
- IdRef : 081930062
A. Klein
- Fonction : Auteur