Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Chahla Domenget : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00392123
Soumis le : vendredi 5 juin 2009-15:21:50
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-18:23:53
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00392123 , version 1
Citer
E. Rauwel, F. Ducroquet, G. Clavel, P. Rauwel, M.-G. Willinger, et al.. ALD of High-k thin films using carboxylic acids as oxygen supplying agents. 15th Workshop on Dielectrics in Microelectronics,, Jun 2008, Berlin, Germany. pp.93. ⟨hal-00392123⟩
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