Croissance et propriétés physiques de Nanofils Si

T. Baron (1) , P. Gentile (2) , P. Ferret (3) , M. Gordon (1) , F. Dhalluin (1) , K. Aissou (1)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]; Génie des procédés; Matériaux

T. Baron, P. Gentile, P. Ferret, M. Gordon, F. Dhalluin, et al.. Croissance et propriétés physiques de Nanofils Si. GDR Nanofils, 2006, Lille, France. ⟨hal-00396885⟩