Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00399953
Soumis le : lundi 29 juin 2009-14:36:11
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:26
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00399953 , version 1
Citer
B. Pelissier, A. Beaurain, H. Fontaine, A. Danel, O. R. Joubert. Investigations on HCl contaminated Cu 200mm wafers using Parallel Angle resolved XPS. MNE 08, 2008, athenes, Greece. ⟨hal-00399953⟩
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