Porous SiCOH Patterning for Advanced Interconnects: Challenges and Solutions
N. Posseme
,
T. David
(1, 2)
,
T. Chevolleau
(1)
,
Maxime Darnon
(1)
,
F. Bailly
(3)
,
R. Bouyssou
(3)
,
J. Ducote
(3)
,
C. Verove
,
O. Joubert
(1)
N. Posseme
- Fonction : Auteur
Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
C. Verove
- Fonction : Auteur