Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00634130
Soumis le : jeudi 20 octobre 2011-13:15:40
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:38
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00634130 , version 1
Citer
M. Fouchier, E. Pargon, L. Azarnouche, O. Luere, K. Menguelti, et al.. Vacuum Ultra Violet emission of HBr, Ar, and He plasmas for the development of 193nm photoresist plasma cure treatments. PESM, May 2011, Mechelen, Belgium. ⟨hal-00634130⟩
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